Nieuwsbank

Schrijft, screent en verspreidt persberichten voor journalistiek, search en social media. Hét startpunt om uw nieuws wereldkundig te maken. Ook voor follow-ups, pitches en korte videoproducties.

Promotie TU Delft: geavanceerde polijsttechnieken

Datum nieuwsfeit: 06-03-2001
Bron: Technische Universiteit Delft
Zoek soortgelijke berichten
Technische Universiteit Delft

Alle promoties, intree- en afscheidsredes worden gehouden in de Aula van de TU Delft, Mekelweg 5, Delft

Promotie

Interferometer
06 maart 2001 | 16.00 uur
Hr. R.G. Klaver | natuurkundig ingenieur
Promotor | Prof.dr.ir. J.J.M. Braat (fac. TNW)

Novel interferometer to measure the figure of strongly aspherical surfaces Met de huidige geavanceerde polijsttechnieken, zoals computer-gestuurd-polijsten en ionen-bundel-polijsten, wordt de nauwkeurigheid waarmee asferische oppervlakken kunnen worden vervaardigd niet bepaald door die polijsttechnieken, maar door de nauwkeurigheid waarmee de vorm kan worden gemeten. Voor verschillende toepassingen is er behoefte aan asferische spiegels en lenzen met nauwkeurigheden die niet kunnen worden behaald met de huidige technologie. Eén van deze toepassingen is extreem-ultraviolet lithografie (EUVL), de lithografische technologie die waarschijnlijk gebruikt zal gaan worden voor de productie van geïntegreerde schakelingen met detailgroottes van 50 nm en kleiner vanaf het jaar 2010. De EUVL-systemen zijn gebaseerd op projectiesystemen die zijn samengesteld uit asferische spiegels. Het nieuwe type interferometer is specifiek gericht op het meten van de vorm van de nog niet van multilagen voorziene substraten van deze spiegels. Interferometers bepalen de vorm van een spiegelend oppervlak door een lichtbundel die door dat oppervlak is gereflecteerd te laten interfereren met een lichtbundel waarvan de vorm van het golffront bekend is. Uit het ontstane interferentiepatroon kan de vorm van de spiegel worden berekend. Uit een studie van bestaande interferometers is gebleken dat hun nauwkeurigheid wordt beperkt door de fouten in de hulpoptiek die zich in de interferometer zelf bevindt. Bij het ontwerp van de nieuwe interferometer is daarom het aantal optische hulpelementen gereduceerd tot een minimum, waardoor die niet langer de nauwkeurigheid beperken. Maar tegelijkertijd worden een aantal andere problemen geïntroduceerd. Eén van die problemen is het optreden van diffractieverschijnselen. Een ander probleem is dat het berekenen van de vorm van de spiegel complexer wordt in vergelijking met de bestaande problemen. Aan ander probleem is het opnemen van het interferentiepatroon. Het oplossen van deze problemen heeft geleid tot het ontwerp van de nieuwe interferometer, zoals beschreven in het proefschrift van Klaver.

reageer via disqus

Nieuwsbank op Twitter

Gratis persberichten ontvangen?

Registreer nu

Profiteer van het gratis Nieuwsbank persberichtenfilter

advertentie