Universiteit Twente


Dienst Voorlichting en Externe Betrekkingen, Postbus 217, 7500 AE Enschede, telefoon (053) 489 4244, E-mail: b.meijering@veb.utwente.nl Laatste nieuws op Internet: URL: https://www.utwente.nl/nieuws

Het temmen van lasers

promotie drs. L. Feenstra, Technische Natuurkunde, On the long pulse operation of a discharge pumped ArF excimer laser

Gaslasers, zoals UV excimeer lasers, leveren grote doses energie in pulsen van zeer korte duur, vaak maar enkele tientallen nanoseconden (miljardste seconden). Die samenballing van energie leidt tot krachtige toepassingen maar kan ook de levensduur bekorten van lenzen en andere optische elementen, die de gebruiker samen met de laser toepast. In de chip-industrie bijvoorbeeld worden zeer kostbare lenzen gebruikt om patronen van micro- en nanometergrootte af te beelden op de vierkante centimeter van de chip. Ultraviolet lasers worden gebruikt in deze tak van industrie, om kleine en snelle schakelingen te kunnen maken. Het voorkomen van beschadigingen in de optische systemen kan hier leiden tot miljoenenbesparingen. Feenstra heeft dus gezocht naar een methode om de laser te temmen en de lengte van de puls op te rekken tot meer dan 100 nanoseconden. De gasontlading in de laser en de samenstelling van het gasmengsel is te tunen om deze langere puls te bereiken, concludeert Feenstra. In zijn onderzoek heeft hij zich vooral gericht op de Argon Fluor (ArF) excimeer laser. Vooral de fluorconcentratie in het gas blijkt doorslaggevend te zijn voor de stabiliteit van de gasontlading, dit heeft ook invloed op de mate waarin de pulstijd is te verlengen. De pulslengte van ArF lasers is met Feenstras methode een factor zes te verlengen, tot ongeveer 120 nanoseconden. Deze lasers vinden, behalve in de chip-industrie, ook toepassing in de chirurgie.

promotor: prof.dr.ir. W.J. Witteman
informatie: ir. W.R. van der Veen, tel (053) 489 4244 e-mail: w.r.vanderveen@veb.utwente.nl

© Universiteit Twente 1999
Laatst gewijzigd op 17-09-99.

Deel: ' Promotie Het temmen van lasers '




Lees ook