Technische Universiteit Delft

Alle promoties, intree- en afscheidsredes worden gehouden in de Aula van de TU Delft, Mekelweg 5, Delft

Promotie

Stroomgeleidend aluminium
5 juni 2002 | 13.30 uur
hr. J.P. Lokker | doctorandus in de natuurkunde.
promotor | Prof.dr.ir. S. Radelaar (fac TNW)
toeg.prom. | Dr. G.C.A.M. Janssen (UHD-fac TNW)

Mechanical Properties and Microstructure of Aluminum-alloy Thin Films Microelectronic Applications
Aluminium en aluminiumlegeringen worden gebruikt als stroom geleidende verbindingen in geïntegreerde schakelingen (engels: Integrated Circuit; IC). Tijdens het maken van de IC worden de materialen enkele keren tussen kamer temperatuur en 400 °C verwarmd en afgekoeld. Als gevolg van het verschil in thermische uitzettingscoëfficient van het silicium substraat en van de gelegeerde aluminium dunne films worden tijdens deze
temperatuursbehandelingen mechanische spanningen geïnduceerd in de dunne film. Deze spanningen kunnen leiden tot verslechterde mechanische betrouwbaarheid van de dunne aluminium film.
Het mechanische gedrag van Al dunne films kan worden beïnvloed door toevoegen van bepaalde legeringselementen. Het doel van het onderzoek dat wordt beschreven in het proefschrift, is het beter begrijpen van de invloed van legeringselementen op de ontwikkeling van mechanische spanningen in de gelegeerde aluminium dunne films tijdens opwarmen en afkoelen tussen kamertemperatuur en 500 °C. Deze ontwikkeling wordt gerelateerd aan de oplosbaarheid en de diffusie eigenschappen van de elementen in de aluminium dunne film. De geselecteerde legeringselementen zijn combinaties van kleine hoeveelheden nikkel, chroom, vanadium, palladium en koper.

Voor verder lezen:

* Thin-Films-stresses and mechanical properties VII, 1997
* Materials science of thin films : deposition and structure by Milton Ohring, 2002

Maarten van der Sanden
Wetenschapsvoorlichter
Communicatie & Marketing Groep / TU Delft
tel.: 015 2785454
fax.: 015 2781855
GSM: 06 20408176

Deel: ' Promotie Stroomgeleidend aluminium '




Lees ook